9 配电系统

　　9.1 一般规定

　　9.1.1 先检查零部件再施工系统，以减少返工。

　　9.2 线 路

　　9.2.1 这是为了保证人身和工作(生产)的安全以及维护检修的方便，也减少对生产的影响。

　　9.2.2 穿线管口密封对洁净室来说尤为重要，这些地方都是压力漏泄难以发现之处。

　　9.2.5 不能图方便而省去专用接地线直接用线槽跨接，这是由于可能因线槽质地而影响接地电阻。

　　9.3 电气设备与装置

　　9.3.2 洁净室墙体上嵌装的一切装置包括配电盘等均应遵守尽量不突出墙面、不易积灰的原则。

　　9.3.3 主要是为了减少一旦检修时对室内的污染。

　　9.3.5 单向流静压箱底面(室内一面)上穿过螺栓之类而造成严重漏泄并很难补修的孔洞很多，即使焊住也不行，螺纹处仍漏，加上螺帽，打上胶都难以封住。必须时只能把螺杆根部焊在底面上。