13 防静电与接地设计

　　13.1 一般规定

　　13.1.1 洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静电环境设计应满足抑制或减少静电的产生，以及将已产生的静电迅速、安全、有效地排除的要求。

　　13.1.2 防静电环境设计应按电子产品或生产工序(设备)进行分级。防静电环境内静电电位绝对值应小于电子产品的静电电位安全值。防静电环境设计应分为三级，防静电环境设计分级适用场所应符合表13.1.2的要求。

　　13.2 防静电措施

　　13.2.1 洁净厂房防静电环境中，防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求：

　　1 防静电地面面层的选择，应满足电子产品生产工艺的要求;

　　2 防静电地面的表层应采用静电耗散性材料，静电耗散性材料表面电阻率应为2.5×104～1×109Ω;

　　3 防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接，其地面对地泄放电阻值应为1×105～1×108Ω。

　　13.2.2 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计，应符合下列要求：

　　1 一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×104～1×106Ω，摩擦起电电压不应大于100V，静电半衰期不应大于0.1s;

　　2 二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1×106～1×109Ω，摩擦起电电压不应大于200V，静电半衰期不应大于1s，但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;

　　3 三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料，顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面，应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。

　　13.2.3 洁净厂房防静电环境的门窗设计，应符合下列要求：

　　1 应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;

　　2 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层，并应接地;

　　3 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时，玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。

　　13.2.4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求：

　　1 各类装修材料应具有表面静电耗散性能，不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料;

　　2 各类装修的饰面应平整光滑。

　　13.2.5 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管，应选用导电材料制作，并应接地。

　　13.2.6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时，应在其表面安装金属网，并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时，应在软管上安装与其紧密结合的金属导体，并应采用接地引线与其可靠连接接地。

　　13.2.7 洁净厂房防静电环境中，应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。

　　13.3 防静电接地

　　13.3.1 洁净厂房内金属物体包括洁净室(区)的墙面、门窗、吊顶的金属骨架，应与接地系统做可靠连接，导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。

　　13.3.2 静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性，其主干线截面不应小于95mm2，支线最小截面应为2.5mm2。

　　13.3.3 与人体接触的静电接地应串接限流电阻，限流电阻的阻值宜为1MΩ。

　　13.3.4 对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道，应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。