10气体供应10气体供应10.1一般规定10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气,其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统
11化学品供应11化学品供应11.1一般规定11.1.1洁净厂房内化学品的储存、输送方式,应根据产品生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。11.1.2洁净厂房内使用的各类化学品应按照各自的
12电气设计12.1配电12.1.1洁净厂房的用电负荷等级和供电要求,应根据电子产品生产工艺及设备要求和现行国家标准《供配电系统设计规范》GB50052的有关规定确定。12.1.2洁净厂房低压配电电压
13防静电与接地设计13.1一般规定13.1.1洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静电环境设计应满足抑制或减少静电的产生,以及将已产生的静电迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2防静电环
14噪声控制14噪声控制14.1一般规定14.1.1洁净厂房的噪声控制,应满足电子产品生产的要求,并应保持工作人员具有舒适、安全的环境。14.1.2洁净厂房的噪声控制设计应符合现行国家标准《工业企业噪
15微振控制15.1一般规定15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行,应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。15.
附录A各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求附录A各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
附录B电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例附录B电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例注:①表中房间在设备密闭性良好,并设有气体或可燃蒸气报警装置和灭火装置时,应按丙类设防,否则仍应按甲类设防。
附录C精密仪器、设备的容许振动值举例附录C精密仪器、设备的容许振动值举例
附录D洁净室(区)性能测试和认证D.1通则D.1.1洁净室(区)应定期进行性能测试。以认证洁净室(区)始终符合本规范的要求。D.1.2洁净室(区)性能测试认证工作,应由专门检测认证单位承担,并应提交检
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