1总则中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范GB50472-2008条文说明1总则本规范是电子工业洁净厂房设计的国家标准,适用于各种类型电子产品生产用新建、扩建和改建的洁净厂房设计。由于各类电
2术语2术语2.0.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。2.0.2洁净区cleanz
3电子产品生产环境设计要求3电子产品生产环境设计要求3.1一般规定3.1.1~3.1.3随着科学技术的发展,电子产品生产日新月异,以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型
4总体设计4总体设计4.1位置选择和总平面布置4.1.1电子产品生产用洁净厂房与其他工业洁净厂房的重要区别之一是一些电子产品生产对化学污染物有严格的要求,如微电子产品中需严格控制生产环境中的重金属、有
5工艺设计5工艺设计5.1一般规定5.1.1随着科学技术的发展,电子产品的更新换代、产品生产技术的发展十分迅速,以集成电路为代表的微电子产品尤为显著,集成电路产品基本上是2~3年或更短的时间就会提升一
6洁净建筑设计6洁净建筑设计6.1一般规定6.1.1、6.1.2随着科学技术的发展,电子产品生产发展很快,即使某一种电子产品也常常需要更新换代或生产工艺调整或生产规模的扩大,一些老的电子产品根据微型化
7空气净化和空调通风设计7空气净化和空调通风设计7.1一般规定7.1.3洁净厂房中净化空调系统的划分原则,本条推荐6种情况宜采用“分开设置”。研究分析净化空调系统“分开设置”的依据,大体可归纳为:电子
8给水排水设计8给水排水设计8.1一般规定8.1.1洁净厂房内的管道敷设方式会对洁净室的空气洁净度产生影响,成排布置的给水排水管道有时会对洁净室的气流流型产生影响。为此,本条要求尽量将各种给水排水管道
9纯水供应9纯水供应9纯水供应9.1一般规定9.1.1电子工业洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一。各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同,在中国电子级水的技术指标中,仅电阻率一项指标——E
10气体供应10气体供应10.1一般规定10.1.1洁净厂房使用的气体有常用气体、干燥压缩空气及特种气体三大类,根据各种电子产品品种及其生产工艺的不同,使用气体的品种、纯度及杂质含量是不相同的。表22
Recommended case