前言中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范CodefordesignofelectronicindustrycleanroomGB50472-2008主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准
1总则1总则1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中,做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量,并符合劳动卫生和环境保护的要求,制定本规范。1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电
2术语2术语2.0.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。2.0.2洁净区cleanz
3电子产品生产环境设计要求3电子产品生产环境设计要求3.1一般规定3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、
4总体设计4总体设计4.1位置选择和总平面布置4.1.1洁净厂房位置的选择,应根据下列要求经技术经济比较后确定:1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域;2应远离铁路、码头
5工艺设计5工艺设计5.1一般规定5.1.1洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。5.1.2洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件,在满足电子产品生产要
6洁净建筑设计6洁净建筑设计6.1一般规定6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局,应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应
7空气净化和空调通风设计7.1一般规定7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1.2气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺
8给水排水设计8给水排水设计8.1一般规定8.1.1洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内,并宜敷设在通行的技术夹层内。条件合适时,也可埋地敷设。洁净室(区)内管道宜暗装,与本房间无关的管
9纯水供应9纯水供应9.1一般规定9.1.1电子产品生产用纯水系统的选择,应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求,并结合系统规模、材料及设备供应等情况,经技术经济比较确定。9.1.2纯水的输送干管应
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