5工艺设计5工艺设计5.1一般规定5.1.1随着科学技术的发展,电子产品的更新换代、产品生产技术的发展十分迅速,以集成电路为代表的微电子产品尤为显著,集成电路产品基本上是2~3年或更短的时间就会提升一
6洁净建筑设计6洁净建筑设计6.1一般规定6.1.1、6.1.2随着科学技术的发展,电子产品生产发展很快,即使某一种电子产品也常常需要更新换代或生产工艺调整或生产规模的扩大,一些老的电子产品根据微型化
7空气净化和空调通风设计7空气净化和空调通风设计7.1一般规定7.1.3洁净厂房中净化空调系统的划分原则,本条推荐6种情况宜采用“分开设置”。研究分析净化空调系统“分开设置”的依据,大体可归纳为:电子
8给水排水设计8给水排水设计8.1一般规定8.1.1洁净厂房内的管道敷设方式会对洁净室的空气洁净度产生影响,成排布置的给水排水管道有时会对洁净室的气流流型产生影响。为此,本条要求尽量将各种给水排水管道
9纯水供应9纯水供应9纯水供应9.1一般规定9.1.1电子工业洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一。各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同,在中国电子级水的技术指标中,仅电阻率一项指标——E
10气体供应10气体供应10.1一般规定10.1.1洁净厂房使用的气体有常用气体、干燥压缩空气及特种气体三大类,根据各种电子产品品种及其生产工艺的不同,使用气体的品种、纯度及杂质含量是不相同的。表22
11化学品供应11化学品供应11化学品供应11.1一般规定11.1.1电子工业洁净厂房常常需使用各种化学品,根据电子产品品种及其生产工艺的不同,各种电子产品生产所使用的化学品是不相同的,其中以集成电路
12.2照明12电气设计12.1配电12.1.3电子工业洁净厂房中的产品生产用主要工艺设备,一般都是电子生产线的关键设备、核心设备,它们的正常、连续运转对确保生产线的正常运转至关重要,所以近年来的一些
13防静电与接地设计13防静电与接地设计13防静电与接地设计13.1一般规定电子工业洁净厂房中,根据电子产品生产工艺要求设防静电环境的场所主要有对静电放电敏感的电子元器件、组件、仪器和设备的制造和操作
14噪声控制14噪声控制14.1一般规定14.1.1电子工业洁净厂房内噪声控制的基本要求:一是应满足电子产品生产的要求,不能因为洁净室内的公用动力设施等引起的机械噪声、气体动力噪声,影响电子产品生产的
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